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半導体製造における有害化学物質の毒性に関する基礎的研究

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半導体製造における有害化学物質の毒性に関する基礎的研究

Call No. (NDL)
Y151-H01570298
Bibliographic ID of National Diet Library
000006975948
Material type
図書
Author
大前, 和幸, 慶応義塾大学
Publisher
-
Publication date
1989-1990
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ハンドウタイ セイゾウ ニ オケル ユウガイ カガク ブッシツ ノ ドクセイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
Author/Editor
大前, 和幸, 慶応義塾大学
Author Heading
大前, 和幸, 1951- オオマエ, カズユキ, 1951- ( 00890664 )Authorities
Publication Date
1989-1990
Publication Date (W3CDTF)
1989
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
半導体 ハンドウタイ
シラン シラン
半導体特殊材料ガス ハンドウタイトクシユザイリヨウガス
毒性 ドクセイ
動物実験 ドウブツジツケン