図書

超精密加工面性状インプロセス測定装置の試作開発

Icons representing 図書

超精密加工面性状インプロセス測定装置の試作開発

Call No. (NDL)
Y151-H01850028
Bibliographic ID of National Diet Library
000006976742
Material type
図書
Author
三好, 隆志, 北海道大学
Publisher
-
Publication date
1989-1991
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウセイミツ カコウメン セイジョウ インプロセス ソクテイ ソウチ ノ シサク カイハツ
Author/Editor
三好, 隆志, 北海道大学
Author Heading
三好, 隆志 ミヨシ, タカシ
Publication Date
1989-1991
Publication Date (W3CDTF)
1989
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究
Subject Heading
Fraunhofer回折 FRAUNHOFERカイセツ
インプロセス測定 インプロセスソクテイ
超精密加工 チヨウセイミツカコウ
ダイヤモンド切削 ダイヤモンドセツサク
ナノメータ ナノメータ
微細傷 ビサイシヨウ
表面粗さ ヒヨウメンアラサ
表面欠陥 ヒヨウメンケツカン