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図書

超精密加工面性状インプロセス測定装置の試作開発

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超精密加工面性状インプロセス測定装置の試作開発

Call No. (NDL)
Y151-H01850028
Bibliographic ID of National Diet Library
000006976742
Material type
図書
Author
三好, 隆志, 北海道大学
Publisher
-
Publication date
1989-1991
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
チョウセイミツ カコウメン セイジョウ インプロセス ソクテイ ソウチ ノ シサク カイハツ
Author/Editor
三好, 隆志, 北海道大学
Author Heading
三好, 隆志 ミヨシ, タカシ
Publication Date
1989-1991
Publication Date (W3CDTF)
1989
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究
Subject Heading
Fraunhofer回折 FRAUNHOFERカイセツ
インプロセス測定 インプロセスソクテイ
超精密加工 チヨウセイミツカコウ
ダイヤモンド切削 ダイヤモンドセツサク
ナノメータ ナノメータ
微細傷 ビサイシヨウ
表面粗さ ヒヨウメンアラサ
表面欠陥 ヒヨウメンケツカン