光線基準によるテーブル直進運動精度のナノメータ計測と制御

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Material Type: 図書
Title: 光線基準によるテーブル直進運動精度のナノメータ計測と制御
Title Transcription: コウセンキジュンニヨルテーブルチョクシンウンドウセイドノナノメータケイソクトセイギョ
Author/Editor: 井川直哉, 大阪大学
Author Heading: 井川, 直哉イカワ, ナオヤ
Publication Date: 1989-1990
Publication Date (W3CDTF): 1989
1990
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究
Subject Heading: 直進運動精度チヨクシンウンドウセイド
直線基準チヨクセンキジユン
運動精度ウンドウセイド
真直度シンチヨクド
レーザービームレーザービーム
エラーモーシヨンエラーモーシヨン
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01850032
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H01850032
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006976746
http://id.ndl.go.jp/bib/000006976746
Bibliographic Record Category (NDL): 214