膜組成制御スパツタ装置の試作と金属-セラミツクス接合の応用

• Material Type: 図書
• Title: 膜組成制御スパツタ装置の試作と金属-セラミツクス接合の応用
• Title Transcription: マク ソセイ セイギョ スパツタ ソウチ ノ シサク ト キンゾク-セラミツクス セツゴウ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 中島, 孝慈, 富山工業高等専門学校
• Author Heading: 中島, 孝慈 ナカジマ, タカヨシ
• Publication Date: 1990-1991
• Publication Date (W3CDTF): 1990
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究
• Subject Heading: 組成比率 ソセイヒリツ; 合金膜 ゴウキンマク; マグネトロンスパツタ マグネトロンスパツタ; 多層構造 タソウコウゾウ; セラミツク 金属接合 セラミツクキンゾクセツゴウ; 濡れ ヌレ; 蝋付け ロウズケ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01850067
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H01850067
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006976776; http://id.ndl.go.jp/bib/000006976776
• Bibliographic Record Category (NDL): 214