膜組成制御スパツタ装置の試作と金属-セラミツクス接合の応用

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Material Type: 図書
Title: 膜組成制御スパツタ装置の試作と金属-セラミツクス接合の応用
Title Transcription: マクソセイセイギョスパツタソウチノシサクトキンゾク-セラミツクスセツゴウノオウヨウ
Author/Editor: 中島, 孝慈, 富山工業高等専門学校
Author Heading: 中島, 孝慈ナカジマ, タカヨシ
Publication Date: 1990-1991
Publication Date (W3CDTF): 1990
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目試験研究
Subject Heading: 組成比率ソセイヒリツ
合金膜ゴウキンマク
マグネトロンスパツタマグネトロンスパツタ
多層構造タソウコウゾウ
セラミツク金属接合セラミツクキンゾクセツゴウ
濡れヌレ
蝋付けロウズケ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01850067
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H01850067
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006976776
http://id.ndl.go.jp/bib/000006976776
Bibliographic Record Category (NDL): 214