ナノメートルイオンプローブ技術の開発

• Material Type: 図書
• Title: ナノメートルイオンプローブ技術の開発
• Title Transcription: ナノメートルイオンプローブ ギジュツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 難波, 進, 大阪大学
• Author Heading: 難波, 進, 1928- ナンバ, ススム, 1928- ( 00053782 )Authorities
• Publication Date: 1989-1990
• Publication Date (W3CDTF): 1989
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究
• Subject Heading: イオンビーム イオンビーム; 集束イオンビーム シユウソクイオンビーム; イオンプローブ イオンプローブ; 後方散乱 コウホウサンラン; トロイダル分析器 トロイダルブンセキキ; 照射損傷 シヨウシヤソンシヨウ; 半導体 ハンドウタイ; 3次元分析 3ジゲンブンセキ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01850089
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H01850089
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006976797; http://id.ndl.go.jp/bib/000006976797
• Bibliographic Record Category (NDL): 214