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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- セイタイ ケッカン ナイ デ ジソウ シ ケイソク ・ チリョウ オ オコナウ マイクロマシン ノ カイハツ ケンキュウ
- Author/Editor
- 藤正, 巖, 東京大学
- Author Heading
- 藤正, 巖 フジマサ, イワオ
- Publication Date
- 1989-1991
- Publication Date (W3CDTF)
- 1989
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 試験研究
- Subject Heading
- マイクロマシン マイクロマシンマイクロアクチユエータ マイクロアクチユエータシリコンプロセス シリコンプロセス微細加工 ビサイカコウLPCVD LPCVDRIE RIE人工筋肉サルコメア ジンコウキンニクサルコメアハイブリツド・マイクロセンサ ハイブリツド・マイクロセンサ