超微細プロセス用低エネルギー粒子ビーム源の開発

• Material Type: 図書
• Title: 超微細プロセス用低エネルギー粒子ビーム源の開発
• Title Transcription: チョウビサイ プロセスヨウ テイエネルギー リュウシ ビーム ゲン ノ カイハツ
• Author/Editor: 菅井秀郎, 名古屋大学
• Author Heading: 菅井, 秀郎 スガイ, ヒデオ
• Publication Date: 1989-1990
• Publication Date (W3CDTF): 1989; 1990
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究
• Subject Heading: プラズマプロセス プラズマプロセス; プラズマエツチング プラズマエツチング; プラズマCVD プラズマCVD; 表面磁場 ヒヨウメンジバ; 多極磁場 タキヨクジバ; 高周波放電 コウシユウハホウデン; フラグメンテーシヨン フラグメンテーシヨン; プラズマ・表面相互作用 プラズマ・ヒヨウメンソウゴサヨウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 01880002
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H01880002
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006977034; http://id.ndl.go.jp/bib/000006977034
• Bibliographic Record Category (NDL): 214