シリコン網目構造(アモルフアスから単結晶まで)制御のための化学反応解析

• Material Type: 図書
• Title: シリコン網目構造(アモルフアスから単結晶まで)制御のための化学反応解析
• Title Transcription: シリコン アミメ コウゾウ(アモルフアス カラ タンケッショウ マデ )セイギョ ノ タメ ノ カガク ハンノウ カイセキ
• Author/Editor: 清水, 勇, 東京工業大学
• Author Heading: 清水, 勇 シミズ, イサム
• Publication Date: 1990-1993
• Publication Date (W3CDTF): 1990
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(A)
• Subject Heading: マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ; 自動エリプソメトリー ジドウエリプソメトリー; その場観察 ソノバカンサツ; layer-by layer LAYER-BYLAYER
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02402021
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H02402021
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006977497; http://id.ndl.go.jp/bib/000006977497
• Bibliographic Record Category (NDL): 214