マイクロロボツトの製作プロセスの自動生成に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: マイクロロボツトの製作プロセスの自動生成に関する研究
• Title Transcription: マイクロロボツト ノ セイサク プロセス ノ ジドウ セイセイ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 三浦, 宏文, 東京大学
• Author Heading: 三浦, 宏文, 1938-2020 ミウラ, ヒロフミ, 1938-2020 ( 00137606 )Authorities
• Publication Date: 1990-1991
• Publication Date (W3CDTF): 1990
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: マイクロロボツト マイクロロボツト; CVD CVD; エツチング エツチング; プラニング プラニング; 半導体プロセス ハンドウタイプロセス
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02452130
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H02452130
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006977842; http://id.ndl.go.jp/bib/000006977842
• Bibliographic Record Category (NDL): 214