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イオンミリングによるアトム・プローブFIM用非金属試料針の作製法の開発

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イオンミリングによるアトム・プローブFIM用非金属試料針の作製法の開発

Call No. (NDL)
Y151-H02555002
Bibliographic ID of National Diet Library
000006978698
Material type
図書
Author
桜井利夫, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1990-1991
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
イオンミリングによるアトム・プローブFIM用非金属試料針の作製法の開発
Title Transcription
イオンミリング ニ ヨル アトム ・ プローブ FIM ヨウ ヒキンゾク シリョウシン ノ サクセイホウ ノ カイハツ
Author/Editor
桜井利夫, 東北大学
Author Heading
桜井, 利夫 サクライ, トシオ
Publication Date
1990-1991
Publication Date (W3CDTF)
1990
1991
Extent
冊
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
アトムプローブ アトムプローブ
電界イオン顕微鏡 デンカイイオンケンビキヨウ
イオンミリング イオンミリング