レーザ光束によるサブミクロン粒子の制御技術の開発に関する研究

• Material Type: 図書
• Title: レーザ光束によるサブミクロン粒子の制御技術の開発に関する研究
• Title Transcription: レーザ コウソク ニ ヨル サブミクロン リュウシ ノ セイギョ ギジュツ ノ カイハツ ニ カンスル ケンキュウ
• Author/Editor: 清水, 勲, 茨城工業高等専門学校
• Author Heading: 清水, 勲 シミズ, イサオ
• Publication Date: 1990-1991
• Publication Date (W3CDTF): 1990
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: レーザ光圧力 レーザヒカリアツリヨク; 粒子の非接触マニピユレート リユウシノヒセツシヨクマニピユレート; クリーンルーム クリーンルーム; サブミクロン粒子汚染 サブミクロンリユウシオセン; 光バリア ヒカリバリア; ウエハ汚染防止 ウエハオセンボウシ; 真空中の粒子マニピユレート シンクウチユウノリユウシマニピユレート
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02555062
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H02555062
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006978752; http://id.ndl.go.jp/bib/000006978752
• Bibliographic Record Category (NDL): 214