サブハーフミクロンのパターニングが可能なポジ型レジスト高分子材料の開発

• Material Type: 図書
• Title: サブハーフミクロンのパターニングが可能なポジ型レジスト高分子材料の開発
• Title Transcription: サブハーフミクロン ノ パターニング ガ カノウ ナ ポジガタ レジスト コウブンシ ザイリョウ ノ カイハツ
• Author/Editor: 松田, 実, 東北大学
• Author Heading: 松田, 実 マツダ, ミノル
• Publication Date: 1990-1991
• Publication Date (W3CDTF): 1990
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: ポジ型レジスト ポジガタレジスト; サブハーフミクロン サブハーフミクロン; ポリスルホン ポリスルホン; 電子線レジスト デンシセンレジスト; 耐酸素プラズマ性 タイサンソプラズマセイ; 含ケイ素ポリマー ガンケイソポリマー
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02555181
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H02555181
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006978860; http://id.ndl.go.jp/bib/000006978860
• Bibliographic Record Category (NDL): 214