超硬質窒化物多層薄膜による材料表面改質に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 超硬質窒化物多層薄膜による材料表面改質に関する研究
Title Transcription: チョウコウシツチッカブツタソウハクマクニヨルザイリョウヒョウメンカイシツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
Author Heading: 小寺澤, 啓司コテラザワ, ケイジ
Publication Date: 1990-1991
Publication Date (W3CDTF): 1990
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 窒化物薄膜チツカブツハクマク
高周波反応性スパツタリング法コウシユウハハンノウセイスパツタリングホウ
酸化挙動サンカキヨドウ
窒化チタンチツカチタン
窒化アルミニウムチツカアルミニウム
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02650059
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H02650059
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006979502
http://id.ndl.go.jp/bib/000006979502
Bibliographic Record Category (NDL): 214