多層パルスCVDによる高温耐食被覆膜の作製

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Material Type: 図書
Title: 多層パルスCVDによる高温耐食被覆膜の作製
Title Transcription: タソウパルス CVD ニヨルコウオンタイショクヒフクマクノサクセイ
Author/Editor: 杉山, 幸三, 名古屋大学
Author Heading: 杉山, 幸三スギヤマ, コウゾウ
Publication Date: 1990-1991
Publication Date (W3CDTF): 1990
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 高温耐食膜コウオンタイシヨクマク
パルスCVD パルスCVD
炭化チタンCVD タンカチタンCVD
炭化ケイ素CVD タンカケイソCVD
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 02650515
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H02650515
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006979758
http://id.ndl.go.jp/bib/000006979758
Bibliographic Record Category (NDL): 214