フオトフアイブリケーシヨンによるマイクロアクチユエータ

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Material Type: 図書
Title: フオトフアイブリケーシヨンによるマイクロアクチユエータ
Title Transcription: フオトフアイブリケーシヨンニヨルマイクロアクチユエータ
Author/Editor: 江刺, 正喜, 東北大学
Author Heading: 江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )Authorities
Publication Date: 1991-1994
Publication Date (W3CDTF): 1991
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目特別推進研究
Subject Heading: マイクロアクチユエータマイクロアクチユエータ
フアトフアイブリケーシヨンフアトフアイブリケーシヨン
マイクロマシニングマイクロマシニング
静電アクチユエータセイデンアクチユエータ
立体的微細加工リツタイテキビサイカコウ
静電サーボセイデンサーボ
能動カテーテルノウドウカテーテル
協調制御キヨウチヨウセイギヨ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03102001
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H03102001
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006981270
http://id.ndl.go.jp/bib/000006981270
Bibliographic Record Category (NDL): 214