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図書

フオトフアイブリケーシヨンによるマイクロアクチユエータ

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フオトフアイブリケーシヨンによるマイクロアクチユエータ

Call No. (NDL)
Y151-H03102001
Bibliographic ID of National Diet Library
000006981270
Material type
図書
Author
江刺, 正喜, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1991-1994
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
フオトフアイブリケーシヨン ニ ヨル マイクロアクチユエータ
Author/Editor
江刺, 正喜, 東北大学
Author Heading
江刺, 正喜, 1949- エサシ, マサヨシ, 1949- ( 00154561 )Authorities
Publication Date
1991-1994
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 特別推進研究
Subject Heading
マイクロアクチユエータ マイクロアクチユエータ
フアトフアイブリケーシヨン フアトフアイブリケーシヨン
マイクロマシニング マイクロマシニング
静電アクチユエータ セイデンアクチユエータ
立体的微細加工 リツタイテキビサイカコウ
静電サーボ セイデンサーボ
能動カテーテル ノウドウカテーテル
協調制御 キヨウチヨウセイギヨ