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結晶シリコンの非晶質化過程に関する基礎的研究

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結晶シリコンの非晶質化過程に関する基礎的研究

Call No. (NDL)
Y151-H03452074
Bibliographic ID of National Diet Library
000006981824
Material type
図書
Author
徳山, 巍, 筑波大学
Publisher
-
Publication date
1991-1992
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ケッショウ シリコン ノ ヒショウシツカ カテイ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
Author/Editor
徳山, 巍, 筑波大学
Author Heading
徳山, 巍 トクヤマ, タカシ
Publication Date
1991-1992
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
非晶質シリコン ヒシヨウシツシリコン
イオン注入 イオンチユウニユウ
ラマン散乱 ラマンサンラン
構造緩和 コウゾウカンワ