シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明

• Material Type: 図書
• Title: シランプラズマ中シリコン微粒子の成長機構の解明
• Title Transcription: シランプラズマ チュウ シリコン ビリュウシ ノ セイチョウ キコウ ノ カイメイ
• Author/Editor: 渡辺, 征夫, 九州大学
• Author Heading: 渡辺, 征夫 ワタナベ, ユキオ
• Publication Date: 1991-1992
• Publication Date (W3CDTF): 1991
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: シランプラズマ シランプラズマ; 微粒子 ビリユウシ; パウダー パウダー; パーテイクル パーテイクル; アモルフアスシリコン アモルフアスシリコン; レーザ散乱法 レーザサンランホウ; 微粒子プラズマ ビリユウシプラズマ; 高周波放電 コウシユウハホウデン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03452094
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H03452094
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006981843; http://id.ndl.go.jp/bib/000006981843
• Bibliographic Record Category (NDL): 214