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ボロンイオン注入によるシリコンにイオン注入されたひ素の活性化と拡散の抑制の研究

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ボロンイオン注入によるシリコンにイオン注入されたひ素の活性化と拡散の抑制の研究

Call No. (NDL)
Y151-H03452157
Bibliographic ID of National Diet Library
000006981904
Material type
図書
Author
横田, 勝弘, 関西大学
Publisher
-
Publication date
1991-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書2冊

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ボロンイオン チュウニュウ ニ ヨル シリコン ニ イオン チュウニュウ サレタ ヒソ ノ カッセイカ ト カクサン ノ ヨクセイ ノ ケンキュウ
Author/Editor
横田, 勝弘, 関西大学
Author Heading
横田, 勝弘 ヨコタ, カツヒロ
Publication Date
1991-1993
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
イオン注入 イオンチユウニユウ
拡散抑制 カクサンヨクセイ
活性化抑制 カツセイカヨクセイ
シリコン シリコン
不純物 フジユンブツ