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半導体微細加工技術を用いた電子増倍デバイスの開発

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半導体微細加工技術を用いた電子増倍デバイスの開発

Call No. (NDL)
Y151-H03452177
Bibliographic ID of National Diet Library
000006981923
Material type
図書
Author
高橋, 幸郎, 埼玉大学
Publisher
-
Publication date
1991-1992
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ハンドウタイ ビサイ カコウ ギジュツ オ モチイタ デンシ ゾウ バイ デバイス ノ カイハツ
Author/Editor
高橋, 幸郎, 埼玉大学
Author Heading
高橋, 幸郎 タカハシ, コウロウ
Publication Date
1991-1992
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
マイクロチヤネルプレート マイクロチヤネルプレート
電子増倍 デンシゾウバイ
シリコンエツチング シリコンエツチング
化学的気粗成長法 カガクテキキソセイチヨウホウ
2次電子増倍 2ジデンシゾウバイ
異方性エツチング イホウセイエツチング
半導体微細加工技術 ハンドウタイビサイカコウギジユツ