高密度集積回路の低エネルギー電子ビーム支援微細加工法に関する基礎的研究

• Material Type: 図書
• Title: 高密度集積回路の低エネルギー電子ビーム支援微細加工法に関する基礎的研究
• Title Transcription: コウミツド シュウセキ カイロ ノ テイエネルギー デンシ ビーム シエン ビサイ カコウホウ ニ カンスル キソテキ ケンキュウ
• Author/Editor: 藤岡, 弘, 大阪大学
• Author Heading: 藤岡, 弘, 1941- フジオカ, ヒロシ, 1941- ( 00016011 )Authorities
• Publication Date: 1991-1992
• Publication Date (W3CDTF): 1991
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: 電子ビーム支援エツチング デンシビームシエンエツチング; 電子ビーム支援CVD デンシビームシエンCVD; 集積回路 シユウセキカイロ; 二次電子 ニジデンシ; 試料吸収電流 シリヨウキユウシユウデンリユウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03452181
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H03452181
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006981927; http://id.ndl.go.jp/bib/000006981927
• Bibliographic Record Category (NDL): 214