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大面積・高速表面処理のための大電流液体金属イオン源の開発

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大面積・高速表面処理のための大電流液体金属イオン源の開発

Call No. (NDL)
Y151-H03555002
Bibliographic ID of National Diet Library
000006982767
Material type
図書
Author
石川, 順三, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1991-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ダイ メンセキ ・ コウソク ヒョウメン ショリ ノ タメ ノ ダイ デンリュウ エキタイ キンゾク イオン ゲン ノ カイハツ
Author/Editor
石川, 順三, 京都大学
Author Heading
石川, 順三, 1946- イシカワ, ジュンゾウ, 1946- ( 00843756 )Authorities
Publication Date
1991-1993
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
大電流イオンビーム ダイデンリユウイオンビーム
液体金属イオン源 エキタイキンゾクイオンゲン
含浸電極 ガンシンデンキヨク
多点放出 タテンホウシユツ
表面処理 ヒヨウメンシヨリ
ビームプロフアイル ビームプロフアイル
シートビーム シートビーム
ドロツプレツト ドロツプレツト