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アキシコン・デバイスを用いた長焦点深度・走査結像光学システムの開発

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アキシコン・デバイスを用いた長焦点深度・走査結像光学システムの開発

Call No. (NDL)
Y151-H03555007
Bibliographic ID of National Diet Library
000006982771
Material type
図書
Author
河田, 聡, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1991-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
アキシコン ・ デバイス オ モチイタ チョウ ショウテン シンド ・ ソウサ ケツゾウ コウガク システム ノ カイハツ
Author/Editor
河田, 聡, 大阪大学
Author Heading
河田, 聡, 1951- カワタ, サトシ, 1951- ( 00348665 )Authorities
Publication Date
1991-1993
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
アキシコン アキシコン
0次ベツセルビーム 0ジベツセルビーム
収差 シユウサ
光リソグラフイ ヒカリリソグラフイ
ゾーンプレート ゾーンプレート
回折格子 カイセツコウシ