ラングミユア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エツチング技術の開発

• Material Type: 図書
• Title: ラングミユア吸着層を利用した完全選択性を有する異方性エツチング技術の開発
• Title Transcription: ラングミユア キュウチャクソウ オ リヨウ シタ カンゼン センタクセイ オ ユウスル イカタセイ エツチング ギジュツ ノ カイハツ
• Author/Editor: 松浦, 孝, 東北大学
• Author Heading: 松浦, 孝 マツウラ, タカシ
• Publication Date: 1991-1992
• Publication Date (W3CDTF): 1991
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: ECRプラズマ ECRプラズマ; ラングミユア吸着 ラングミユアキユウチヤク; エツチング遅れ時間 エツチングオクレジカン; 完全選択性 カンゼンセンタクセイ; 異方性 イホウセイ; 選択エピタキシ センタクエピタキシ; 超高清浄化 チヨウコウセイジヨウカ; 窒素添加効果 チツソテンカコウカ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03555057
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H03555057
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006982819; http://id.ndl.go.jp/bib/000006982819
• Bibliographic Record Category (NDL): 214