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極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

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極微細金属配線における高密度電子流に誘起される方向性原子移動現象の解明及び制御

Call No. (NDL)
Y151-H03555061
Bibliographic ID of National Diet Library
000006982823
Material type
図書
Author
新宮原, 正三, 広島大学
Publisher
-
Publication date
1991-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ゴク ビサイ キンゾク ハイセン ニ オケル コウミツド デンシリュウ ニ ユウキ サレル ホウコウセイ ゲンシ イドウ ゲンショウ ノ カイメイ オヨビ セイギョ
Author/Editor
新宮原, 正三, 広島大学
Author Heading
著者 : 新宮原, 正三, 1955- シングウバラ, ショウゾウ, 1955- ( 00942782 )Authorities
広島大学 ヒロシマ ダイガク ( 00260060 )Authorities
Publication Date
1991-1993
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
エレクトロマイグレーシヨン エレクトロマイグレーシヨン
電子顕微鏡その場観察 デンシケンビキヨウソノバカンサツ
ボイド ボイド
高磁場ECRスパツタ コウジバECRスパツタ
自己維持スパツタ ジコイジスパツタ
分子動力学シミユレーシヨン ブンシドウリキガクシミユレーシヨン
結晶粒界 ケツシヨウリユウカイ
析出合金 セキシユツゴウキン