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図書

低波数域ラマン散乱による半導体欠陥の評価解析

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低波数域ラマン散乱による半導体欠陥の評価解析

Call No. (NDL)
Y151-H03650015
Bibliographic ID of National Diet Library
000006983553
Material type
図書
Author
中島, 信一, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1991-1992
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
テイハスウイキ ラマン サンラン ニ ヨル ハンドウタイ ケッカン ノ ヒョウカ カイセキ
Author/Editor
中島, 信一, 大阪大学
Author Heading
中島, 信一 ナカシマ, シンイチ
Publication Date
1991-1992
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
ラマン散乱 ラマンサンラン
結晶欠陥 ケツシヨウケツカン
半導体の評価 ハンドウタイノヒヨウカ
SiC SIC
Si SI