ガリウムひ素表面の低温フツ化

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Material Type: 図書
Title: ガリウムひ素表面の低温フツ化
Title Transcription: ガリウムヒソヒョウメンノテイオンフツカ
Author/Editor: 奥村, 次徳, 東京都立大学
Author Heading: 奥村, 次徳オクムラ, ツグノリ ( 01038389 )Authorities
Publication Date: 1991-1992
Publication Date (W3CDTF): 1991
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: ひ化ガリウムヒカガリウム
プラズマフツ化プラズマフツカ
フツ化物フツカブツ
X線光電子分光 Xセンコウデンシブンコウ
アモルフアスひ素アモルフアスヒソ
リモートプラズマリモートプラズマ
水素クリーニングスイソクリーニング
表面損傷ヒヨウメンソンシヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03650019
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H03650019
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006983557
http://id.ndl.go.jp/bib/000006983557
Bibliographic Record Category (NDL): 214