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CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響

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CVD被覆材の強度特性に及ぼす薄膜内残留応力の影響

Call No. (NDL)
Y151-H03650063
Bibliographic ID of National Diet Library
000006983580
Material type
図書
Author
三好, 良夫, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1991-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
CVD ヒフクザイ ノ キョウド トクセイ ニ オヨボス ハクマク ナイ ザンリュウ オウリョク ノ エイキョウ
Author/Editor
三好, 良夫, 大阪大学
Author Heading
三好, 良夫 ミヨシ, ヨシオ
Publication Date
1991-1993
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
CVD法 CVDホウ
TiC被覆膜 TICヒフクマク
X線応力測定法 Xセンオウリヨクソクテイホウ
密着力 ミツチヤクリヨク
圧縮残留応力 アツシユクザンリユウオウリヨク
熱衝撃 ネツシヨウゲキ
疲労強度 ヒロウキヨウド
フレツチング疲労強度 フレツチングヒロウキヨウド