化学気相成長法による薄膜製造の高効率化

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Material Type: 図書
Title: 化学気相成長法による薄膜製造の高効率化
Title Transcription: カガクキソウセイチョウホウニヨルハクマクセイゾウノコウコウリツカ
Author/Editor: 瀧本, 昭, 金沢大学
Author Heading: 瀧本, 昭タキモト, アキラ
Publication Date: 1991-1992
Publication Date (W3CDTF): 1991
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 化学気相成長法カガクキソウセイチヨウホウ
薄膜製造ハクマクセイゾウ
高効率化コウコウリツカ
微粒子ビリユウシ
熱・物質移動ネツ・ブツシツイドウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03650177
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H03650177
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006983639
http://id.ndl.go.jp/bib/000006983639
Bibliographic Record Category (NDL): 214