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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- タイヨウ デンチ コウリツ コウジョウ ノ タメ ノ コウヒンシツキョウバンドギヤツプ ヒショウシツ ハンドウタイ ノ セイマクホウ
- Author/Editor
- 青木, 彪, 東京工芸大学
- Author Heading
- 青木, 彪 アオキ, タケシ
- Publication Date
- 1991-1992
- Publication Date (W3CDTF)
- 1991
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(C)
- Subject Heading
- 水素化非晶質Ge (a-Ge: H) スイソカヒシヨウシツGE (A-GE: H)ECRプラズマCVD ECRプラズマCVD光電特性 コウデントクセイ水素ラジカル照射 スイソラジカルシヨウシヤ電子照射 デンシシヨウシヤイオン照射 イオンシヨウシヤ水素エツチング スイソエツチングアモルフアスー微結晶相転移 アモルフアスービケツシヨウソウテンイ