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Development of nano-scale processing with the tunneling electrons from a scanning tunneling microscope (STM) under atomospheric or reduced pressure トンネル電子線を用いた大気圧・低真空環境下でのナノプロセシングの開発

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Development of nano-scale processing with the tunneling electrons from a scanning tunneling microscope (STM) under atomospheric or reduced pressure トンネル電子線を用いた大気圧・低真空環境下でのナノプロセシングの開発

Call No. (NDL)
Y151-H03650539
Bibliographic ID of National Diet Library
000006983845
Material type
図書
Author
寺嶋和夫, 東京大学
Publisher
-
Publication date
1991-1992
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Paper

Material Type
図書
Title
Development of nano-scale processing with the tunneling electrons from a scanning tunneling microscope (STM) under atomospheric or reduced pressure トンネル電子線を用いた大気圧・低真空環境下でのナノプロセシングの開発
Title Transcription
Development of nano-scale processing with the tunneling electrons from a scanning tunneling microscope (STM) under atomospheric or reduced pressure トンネル デンシセン オ モチイタ タイキアツ ・ テイシンクウ カンキョウ カ デ ノ ナノプロセシング ノ カイハツ
Author/Editor
寺嶋和夫, 東京大学
Author Heading
寺嶋, 和夫, 1959- テラシマ, カズオ, 1959- ( 00934634 )Authorities
Publication Date
1991-1992
Publication Date (W3CDTF)
1991
1992
Extent
冊
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
STM STM
ナノプロセシング用基板 ナノプロセシングヨウキバン
メタンー水素系CVD メタンースイソケイCVD
semi in-situ 評価/プロセシング SEMIIN-SITUヒヨウカ/プロセシング