マイクロ波プラズマを利用する化学輸送法の立方晶窒化ホウ素膜堆積への応用

• Material Type: 図書
• Title: マイクロ波プラズマを利用する化学輸送法の立方晶窒化ホウ素膜堆積への応用
• Title Transcription: マイクロハ プラズマ オ リヨウ スル カガク ユソウホウ ノ リッポウショウ チッカ ホウソマク タイセキ ヘ ノ オウヨウ
• Author/Editor: 明石和夫, 東京理科大学
• Author Heading: 明石, 和夫 アカシ, カズオ
• Publication Date: 1991-1992
• Publication Date (W3CDTF): 1991; 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 水素 スイソ; 窒素 チツソ; ホウ素 ホウソ; 窒化ホウ素 チツカホウソ; 高周波プラズマ コウシユウハプラズマ; マイクロ波プラズマ マイクロハプラズマ; シリコン基板 シリコンキバン; 化学輸送法 カガクユソウホウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 03650544
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H03650544
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006983849; http://id.ndl.go.jp/bib/000006983849
• Bibliographic Record Category (NDL): 214