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回折結晶学的手法による半導体中の点欠陥集合体の構造解析

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回折結晶学的手法による半導体中の点欠陥集合体の構造解析

Call No. (NDL)
Y151-H03680047
Bibliographic ID of National Diet Library
000006984905
Material type
図書
Author
竹田, 精治, 大阪大学
Publisher
-
Publication date
1991-1992
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
カイセツ ケッショウガクテキ シュホウ ニ ヨル ハンドウタイ チュウ ノ テン ケッカン シュウゴウタイ ノ コウゾウ カイセキ
Author/Editor
竹田, 精治, 大阪大学
Author Heading
竹田, 精治 タケダ, セイジ
Publication Date
1991-1992
Publication Date (W3CDTF)
1991
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
半導体 ハンドウタイ
格子欠陥 コウシケツカン
点欠陥 テンケツカン
水素 スイソ
透過電子顕微鏡 トウカデンシケンビキヨウ
電子回折 デンシカイセツ
電子線照射 デンシセンシヨウシヤ
イオン照射 イオンシヨウシヤ