超高真空走査電顕による半導体上の金属エピタクシー過程の原子像観察と局所解析

• Material Type: 図書
• Title: 超高真空走査電顕による半導体上の金属エピタクシー過程の原子像観察と局所解析
• Title Transcription: チョウコウシンクウ ソウサデンケン ニ ヨル ハンドウタイ ジョウ ノ キンゾク エピタクシー カテイ ノ ゲンシゾウ カンサツ ト キョクショ カイセキ
• Author/Editor: 井野正三, 東京大学
• Author Heading: 井野, 正三 イノ, ショウゾウ
• Publication Date: 1992-1993
• Publication Date (W3CDTF): 1992; 1993
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: 走査電子顕微鏡 ソウサデンシケンビキヨウ; エピタクシー エピタクシー; 表面構造 ヒヨウメンコウゾウ; 半導体表面 ハンドウタイヒヨウメン; 反射高速電子回折 (RHEED) ハンシヤコウソクデンシカイセツ (RHEED)
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04452035
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04452035
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006986003; http://id.ndl.go.jp/bib/000006986003
• Bibliographic Record Category (NDL): 214