超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究

• Material Type: 図書
• Title: 超クリーンクローズド多重湿式プロセス装置を用いた超純水中のシリコン表面状態の研究
• Title Transcription: チョウクリーンクローズド タジュウ シッシキ プロセス ソウチ オ モチイタ チョウジュンスイチュウ ノ シリコン ヒョウメン ジョウタイ ノ ケンキュウ
• Author/Editor: 岩崎, 裕, 大阪大学
• Author Heading: 岩崎, 裕 イワサキ, ヒロシ
• Publication Date: 1992-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: シリコン シリコン; RCA洗浄 RCAセンジヨウ; エツチング エツチング; フローセル フローセル; マイクロラフネス マイクロラフネス; STM STM; AFM AFM; フラクタル フラクタル
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04452092
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04452092
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006986057; http://id.ndl.go.jp/bib/000006986057
• Bibliographic Record Category (NDL): 214