水素終端シリコンの初期酸化機構と極薄金属膜/極薄シリコン酸化膜界面構造の解明

• Material Type: 図書
• Title: 水素終端シリコンの初期酸化機構と極薄金属膜/極薄シリコン酸化膜界面構造の解明
• Title Transcription: スイソ シュウ タン シリコン ノ ショキ サンカ キコウ ト ゴクウス キンゾクマク/ゴクウス シリコン サンカマク カイメン コウゾウ ノ カイメイ
• Author/Editor: 服部, 健雄, 武蔵工業大学
• Author Heading: 服部, 健雄 ハットリ, タケオ
• Publication Date: 1992-1993
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: 水素終端 スイソシユウタン; シリコン シリコン; 初期酸化 シヨキサンカ; 酸化機構 サンカキコウ; 界面構造 カイメンコウゾウ; 層状成長 ソウジヨウセイチヨウ; 界面反応 カイメンハンノウ; 酸化反応 サンカハンノウ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04452096
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04452096
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006986061; http://id.ndl.go.jp/bib/000006986061
• Bibliographic Record Category (NDL): 214