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多層体の接触論を利用した薄膜の機械的特性評価法に関する研究

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多層体の接触論を利用した薄膜の機械的特性評価法に関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H04452121
Bibliographic ID of National Diet Library
000006986085
Material type
図書
Author
尾田, 十八, 金沢大学
Publisher
-
Publication date
1992-1994
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
タソウタイ ノ セッショクロン オ リヨウ シタ ハクマク ノ キカイテキ トクセイ ヒョウカホウ ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
尾田, 十八, 金沢大学
Author Heading
尾田, 十八, 1943- オダ, ジュウハチ, 1943- ( 00126081 )Authorities
Publication Date
1992-1994
Publication Date (W3CDTF)
1992
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
薄膜 ハクマク
多層体 タソウタイ
基板 キバン
接触理論 セツシヨクリロン
弾性特性 ダンセイトクセイ
非弾性特性 ヒダンセイトクセイ
逆解析 ギヤクカイセキ
有限要素法 ユウゲンヨウソホウ