走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価

• Material Type: 図書
• Title: 走査型近接場光学顕微鏡による超精密加工表面の評価
• Title Transcription: ソウサガタ キンセツジョウ コウガク ケンビキョウ ニ ヨル チョウセイミツ カコウ ヒョウメン ノ ヒョウカ
• Author/Editor: 片岡, 俊彦, 大阪大学
• Author Heading: 片岡, 俊彦 カタオカ, トシヒコ
• Publication Date: 1992-1993
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: 走査型近接場光学顕微鏡 ソウサガタキンセツバコウガクケンビキヨウ; 近接場 キンセツバ; 表面粗さ ヒヨウメンアラサ; 圧電素子 アツデンソシ; レーザ レーザ; 絶縁体表面 ゼツエンタイヒヨウメン; 超精密加工表面 チヨウセイミツカコウヒヨウメン; ニアフイールド ニアフイールド
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04452130
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04452130
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006986094; http://id.ndl.go.jp/bib/000006986094
• Bibliographic Record Category (NDL): 214