ミクロの世界に適合する力伝達機構を集積化したマイクロアクチユエータ

• Material Type: 図書
• Title: ミクロの世界に適合する力伝達機構を集積化したマイクロアクチユエータ
• Title Transcription: ミクロ ノ セカイ ニ テキゴウ スル チカラ デンタツ キコウ オ シュウセキカ シタ マイクロアクチユエータ
• Author/Editor: 藤田, 博之, 東京大学
• Author Heading: 藤田, 博之, 1952- フジタ, ヒロユキ, 1952- ( 00221824 )Authorities
• Publication Date: 1992-1993
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(B)
• Subject Heading: マイクロアクチユエータ マイクロアクチユエータ; シリコン シリコン; 微細加工 ビサイカコウ; マイクロマシーニング マイクロマシーニング; 弾性支持 ダンセイシジ; 動力伝達 ドウリヨクデンタツ
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04452161
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04452161
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006986125; http://id.ndl.go.jp/bib/000006986125
• Bibliographic Record Category (NDL): 214