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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ナノメータ セイギョ サレタ ヘテロソウ オ ユウスル Si-Ge ケイ チョウビサイ デバイス ニ カンスル ケンキュウ
- Author/Editor
- 室田, 淳一, 東北大学
- Author Heading
- 室田, 淳一 ムロタ, ジュンイチ
- Publication Date
- 1992-1993
- Publication Date (W3CDTF)
- 1992
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 一般研究(B)