超活性ガスを用いたIV族半導体の原子層成長に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 超活性ガスを用いたIV族半導体の原子層成長に関する研究
Title Transcription: チョウカッセイガスオモチイタ IV ゾクハンドウタイノゲンシソウセイチョウニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 松村, 正清, 東京工業大学
Author Heading: 松村, 正清マツムラ, マサキヨ
Publication Date: 1992-1993
Publication Date (W3CDTF): 1992
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(B)
Subject Heading: シリコンシリコン
ゲルマニウムゲルマニウム
原子層成長ゲンシソウセイチヨウ
原子状水素ゲンシジヨウスイソ
ヘテロ成長ヘテロセイチヨウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04452171
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H04452171
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006986133
http://id.ndl.go.jp/bib/000006986133
Bibliographic Record Category (NDL): 214