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水素終端シリコン表面の原子層酸化の機構と界面構造

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水素終端シリコン表面の原子層酸化の機構と界面構造

Call No. (NDL)
Y151-H04452177
Bibliographic ID of National Diet Library
000006986139
Material type
図書
Author
広瀬, 全孝, 広島大学
Publisher
-
Publication date
1992-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
スイソ シュウ タン シリコン ヒョウメン ノ ゲンシソウ サンカ ノ キコウ ト カイメン コウゾウ
Author/Editor
広瀬, 全孝, 広島大学
Author Heading
広瀬, 全孝 ヒロセ, マサタカ
Publication Date
1992-1993
Publication Date (W3CDTF)
1992
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(B)
Subject Heading
シリコン表面 シリコンヒヨウメン
表面マイクロラフネス ヒヨウメンマイクロラフネス
水素終端表面 スイソシユウタンヒヨウメン
原子ステツプ構造 ゲンシステツプコウゾウ
原子層酸化 ゲンシソウサンカ
SiO2/Si界面 SIO2/SIカイメン
FT-IR-ATR FT-IR-ATR
AFM AFM