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図書

高均一大口径ECRプラズマリアクターの開発研究

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高均一大口径ECRプラズマリアクターの開発研究

Call No. (NDL)
Y151-H04555004
Bibliographic ID of National Diet Library
000006987055
Material type
図書
Author
八坂, 保能, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1992-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
コウキンイツ ダイコウケイ ECR プラズマリアクター ノ カイハツ ケンキュウ
Author/Editor
八坂, 保能, 京都大学
Author Heading
八坂, 保能 ヤサカ, ヤスヨシ ( 01105991 )Authorities
Publication Date
1992-1993
Publication Date (W3CDTF)
1992
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
プラズマプロセス プラズマプロセス
ECRプラズマ ECRプラズマ
大口径 ダイコウケイ
マイクロ波 マイクロハ
マルチカスプ磁場 マルチカスプジバ