極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究

• Material Type: 図書
• Title: 極限微細集積回路作製のための原子層成長制御CVD装置の開発研究
• Title Transcription: キョクゲン ビサイ シュウセキ カイロ サクセイ ノ タメ ノ ゲンシソウ セイチョウ セイギョ CVD ソウチ ノ カイハツ ケンキュウ
• Author/Editor: 室田, 淳一, 東北大学
• Author Heading: 室田, 淳一 ムロタ, ジュンイチ
• Publication Date: 1992-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 試験研究(B)
• Subject Heading: 原子層成長 ゲンシソウセイチヨウ; CVD CVD; 瞬時加熱 シユンジカネツ; SiH4 SIH4; GeH4 GEH4; Si SI; 共鳴トンネル キヨウメイトンネル
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04555064
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04555064
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006987110; http://id.ndl.go.jp/bib/000006987110
• Bibliographic Record Category (NDL): 214