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ワイドギヤツプ半導体SiCの高純度単結晶成長とパワーデバイスへの応用

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ワイドギヤツプ半導体SiCの高純度単結晶成長とパワーデバイスへの応用

Call No. (NDL)
Y151-H04555068
Bibliographic ID of National Diet Library
000006987114
Material type
図書
Author
松波, 弘之, 京都大学
Publisher
-
Publication date
1992-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ワイドギヤツプ ハンドウタイ SiC ノ コウジュンドタンケッショウ セイチョウ ト パワーデバイス ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
松波, 弘之, 京都大学
Author Heading
松波, 弘之 マツナミ, ヒロユキ
Publication Date
1992-1993
Publication Date (W3CDTF)
1992
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
シリコンカーバイド (SiC) シリコンカーバイド (SIC)
パワーデバイス パワーデバイス
気相エピタキシー キソウエピタキシー
成長機構 セイチヨウキコウ
イオン注入 イオンチユウニユウ
熱酸化 ネツサンカ
pn接合ダイオード PNセツゴウダイオード
Schottky障壁ダイオード SCHOTTKYシヨウヘキダイオード