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Bibliographic Record
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- Material Type
- 図書
- Title Transcription
- ワイドギヤツプ ハンドウタイ SiC ノ コウジュンドタンケッショウ セイチョウ ト パワーデバイス ヘ ノ オウヨウ
- Author/Editor
- 松波, 弘之, 京都大学
- Author Heading
- 松波, 弘之 マツナミ, ヒロユキ
- Publication Date
- 1992-1993
- Publication Date (W3CDTF)
- 1992
- Extent
- 冊
- Additional Title
- 研究種目 試験研究(B)
- Subject Heading
- シリコンカーバイド (SiC) シリコンカーバイド (SIC)パワーデバイス パワーデバイス気相エピタキシー キソウエピタキシー成長機構 セイチヨウキコウイオン注入 イオンチユウニユウ熱酸化 ネツサンカpn接合ダイオード PNセツゴウダイオードSchottky障壁ダイオード SCHOTTKYシヨウヘキダイオード