図書

極微細溝への酸化膜の選択成長法の開発とギガビツトメモリ配線への応用

Icons representing 図書

極微細溝への酸化膜の選択成長法の開発とギガビツトメモリ配線への応用

Call No. (NDL)
Y151-H04555071
Bibliographic ID of National Diet Library
000006987117
Material type
図書
Author
広瀬, 全孝, 広島大学
Publisher
-
Publication date
1992-1994
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
View All

Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

Search by Bookstore

Bibliographic Record

You can check the details of this material, its authority (keywords that refer to materials on the same subject, author's name, etc.), etc.

Paper

Material Type
図書
Title Transcription
ゴク ビサイ コウ ヘ ノ サンカマク ノ センタク セイチョウホウ ノ カイハツ ト ギガビツトメモリ ハイセン ヘ ノ オウヨウ
Author/Editor
広瀬, 全孝, 広島大学
Author Heading
広瀬, 全孝 ヒロセ, マサタカ
Publication Date
1992-1994
Publication Date (W3CDTF)
1992
Extent
Additional Title
研究種目 試験研究(B)
Subject Heading
プラズマCVD プラズマCVD
シリコン酸化膜 シリコンサンカマク
全反射赤外吸収分光 ゼンハンシヤセキガイキユウシユウブンコウ
その場観察 ソノバカンサツ
平坦化技術 ヘイタンカギジユツ
選択成長法 センタクセイチヨウホウ