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傾斜照明と能動的瞳制御による縮小投影光学系の分解能と焦点深度改善

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傾斜照明と能動的瞳制御による縮小投影光学系の分解能と焦点深度改善

Call No. (NDL)
Y151-H04650049
Bibliographic ID of National Diet Library
000006987923
Material type
図書
Author
生田, 孝, 大阪電気通信大学
Publisher
-
Publication date
1992-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General)：

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title
傾斜照明と能動的瞳制御による縮小投影光学系の分解能と焦点深度改善
Title Transcription
ケイシャ ショウメイ ト ノウドウテキ ドウ セイギョ ニ ヨル シュクショウ トウエイ コウガクケイ ノ ブンカイノウ ト ショウテン シンド カイゼン
Author/Editor
生田, 孝, 大阪電気通信大学
Author Heading
生田, 孝 イクタ, タカシ
Publication Date
1992-1993
Publication Date (W3CDTF)
1992
Extent
冊
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
ステツパー ステツパー
3次元結像特性 3ジモトユイゾウトクセイ
3次元光学伝達特性 3ジゲンコウガクデンタツトクセイ
能動型画像処理 ノウドウガタガゾウシヨリ
能動型合成結像法 ノウドウガタゴウセイケツゾウボウ
傾斜照明 ケイシヤシヨウメイ
円環状開口フイルター エンカンジヨウカイコウフイルター
能動型投影光学系 ノウドウガタトウエイコウガクケイ