金属・窒化物系傾斜機能薄膜による材料表面改質に関する研究

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Material Type: 図書
Title: 金属・窒化物系傾斜機能薄膜による材料表面改質に関する研究
Title Transcription: キンゾク・チッカブツケイケイシャキノウハクマクニヨルザイリョウヒョウメンカイシツニカンスルケンキュウ
Author/Editor: 小寺澤, 啓司, 姫路工業大学
Author Heading: 小寺澤, 啓司コテラザワ, ケイジ
Publication Date: 1992-1993
Publication Date (W3CDTF): 1992
Extent: 冊
Additional Title: 研究種目一般研究(C)
Subject Heading: 高周波反応性スパツタリングコウシユウハハンノウセイスパツタリング
傾斜機能薄膜ケイシヤキノウハクマク
発光分光ハツコウブンコウ
質量分析シツリヨウブンセキ
オージエ電子分光法オージエデンシブンコウホウ
NDLC: Y151
Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04650071
Holding library: 国立国会図書館
Call No.: Y151-H04650071
Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書
https://ndlsearch.ndl.go.jp
Bibliographic ID (NDL): 000006987942
http://id.ndl.go.jp/bib/000006987942
Bibliographic Record Category (NDL): 214