紫外線照射下での斜め対向ターゲツト式スパツタ法による薄膜作製装置の開発

• Material Type: 図書
• Title: 紫外線照射下での斜め対向ターゲツト式スパツタ法による薄膜作製装置の開発
• Title Transcription: シガイセン ショウシャ カ デ ノ ナナメ タイコウ ターゲツトシキ スパツタホウ ニ ヨル ハクマク サクセイ ソウチ ノ カイハツ
• Author/Editor: 富永, 喜久雄, 徳島大学
• Author Heading: 富永, 喜久雄 トミナガ, キクオ
• Publication Date: 1992-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: 対向ターゲツト式スパツタ法 タイコウターゲツトシキスパツタホウ; 酸化亜鉛薄膜 サンカアエンハクマク; 透明導電膜 トウメイドウデンマク; プレーナマグネトロンスパツタ法 プレーナマグネトロンスパツタホウ; 紫外線照射 シガイセンシヨウシヤ; 高速粒子衝撃 コウソクリユウシシヨウゲキ; Zno: Al ZNO: AL
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04650269
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04650269
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006988033; http://id.ndl.go.jp/bib/000006988033
• Bibliographic Record Category (NDL): 214