メタルーシリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究

• Material Type: 図書
• Title: メタルーシリコン化合物(シリサイド)の成長機構に関する基礎研究
• Title Transcription: メタルーシリコン カゴウブツ(シリサイド) ノ セイチョウ キコウ ニ カンスル キソ ケンキュウ
• Author/Editor: 下崎, 敏唯, 九州工業大学
• Author Heading: 下崎, 敏唯 シモザキ, トシタダ
• Publication Date: 1992-1994
• Publication Date (W3CDTF): 1992
• Extent: 冊
• Additional Title: 研究種目 一般研究(C)
• Subject Heading: Niシリサイド NIシリサイド; Ptシリサイド PTシリサイド; Tiシリサイド TIシリサイド; 相成長 ソウセイチヨウ; 薄膜拡散 ハクマクカクサン; バルク拡散 バルクカクサン; 成長速度 セイチヨウソクド; 反応拡散 ハンノウカクサン
• NDLC: Y151
• Note (General): 文部省科学研究費補助金研究成果報告書
• Research Project No. of Grants-in-Aid for Scientific Research: 04650604
• Holding library: 国立国会図書館
• Call No.: Y151-H04650604
• Data Provider (Database): 国立国会図書館 : 国立国会図書館蔵書; https://ndlsearch.ndl.go.jp
• Bibliographic ID (NDL): 000006988247; http://id.ndl.go.jp/bib/000006988247
• Bibliographic Record Category (NDL): 214