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図書

選択性逆転の可能なプラズマ低温プロセスに関する研究

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選択性逆転の可能なプラズマ低温プロセスに関する研究

Call No. (NDL)
Y151-H04805029
Bibliographic ID of National Diet Library
000006989695
Material type
図書
Author
松浦, 孝, 東北大学
Publisher
-
Publication date
1992-1993
Material Format
Paper
Capacity, size, etc.
-
NDC
-
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Notes on use

Note (General):

文部省科学研究費補助金研究成果報告書

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Bibliographic Record

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Paper

Material Type
図書
Title Transcription
センタクセイ ギャクテン ノ カノウ ナ プラズマ テイオン プロセス ニ カンスル ケンキュウ
Author/Editor
松浦, 孝, 東北大学
Author Heading
松浦, 孝 マツウラ, タカシ
Publication Date
1992-1993
Publication Date (W3CDTF)
1992
Extent
Additional Title
研究種目 一般研究(C)
Subject Heading
ECRプラズマ ECRプラズマ
選択性 センタクセイ
プラズマCVD プラズマCVD
エツチング エツチング
エピタキシ エピタキシ
吸着・反応 キユウチヤク・ハンノウ
ラジカル ラジカル
イオン照射 イオンシヨウシヤ